クリーンルーム認定ベルトリニアアクチュエータ

クリーンルームシステムファミリーはベルト駆動のリニアアクチュエータでクリーンルームでの使用のために設計されたアクチュエータです。

キャリッジが移動する長手方向の隙間を特殊シールによってカバーし、また両サイドのヘッド部分につけられた吸気ダクトによって0.8Barでバキュームすることによって、アクチュエータ内部から外部環境へのパーティクルの飛散を防ぎます。またアクチュエータ内部に使用されている部品は全てステンレススチールもしくは低発塵用の表面処理がされております。使用されているベアリングやリニアガイドには、クリーンルーム用グリースもしくは真空用グリースが封入されます。

汚れた環境で使用される場合、CLEAN ROOM SYSTEMリニアユニットを0.8バールに加圧して、外部の粒子がスムーズな動作に悪影響を与えるのを防ぐことができます。